核心目標

電漿科技研究中心之設置，基植於現有電漿相關研究基礎，未來研究發展之核心目標分述如下：

(一) 電漿基礎科學的教學與研討：

提供電漿基礎、進階及應用相關課程及研討會；聘任國內外學者專家授課，加速本校研究人員的電漿學理建構。

(二) 新型電漿鍍膜科技的產業化推廣：

推廣高功率脈衝磁控濺鍍 (High power impulse magnetron sputtering, HIPIMS)、脈衝電弧鍍 (High current pulsed-arc deposition) 以及氣流濺射技術 (Gas flow sputtering, GFS) 等新興的次世代鍍膜技術，達成傳統鍍膜技術無實現的目標，加速其產業化。

(三) 電漿產業的水平與垂直整合：

整合校內電漿科技相關研究技術及資源，進行跨院系研究與技術合作，培育優秀的電漿科技人才，並以產業應用的技術研發和商品化為核心目標。

本中心將以上述為核心目標，配合國家產業政策，提出「智慧光機電」、「健康生照養」及「綠能循環經濟」三大主軸，打造從工業智慧生產到健康長照的基石，落實電漿科技在這三大主軸的應用，並以永續研發服務經營方式，建構電漿科技之基礎研究與技術應用的產、學、研生態系(Eco systems)，結合三方力量的合作模式，達成分攤風險、知識利潤共享。

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未來發展方向

本中心以承接公民營機關團體委託之研究計畫、人才培訓計畫及產學合作計畫為原則，在開辦初期亟需校方之鼎力支援，待規模建立後，期能就科學專業領域，回饋社會各界相關研究成果，並在提昇服務品質與認同度後，進一步達到永續經營的目標。基於上述發展理念，訂定近、中及長程發展策略，詳述如下：

(一) 近程(成立後三年內)

近程發展策略在於校內垂直與水平能量之高度跨領域工程技術整合，以「智慧光機電」、「健康生照養」及「綠能循環經濟」三大主軸，積極爭取科技部、教育部、經濟部、地方縣市政府等相關之整合型研究計畫，並與產業合作共同產學合作計畫，提供技術服務、人才教育培訓與建教合作等。

(二) 中程(成立後三年至六年間)

中程發展策略在於擴充人力、空間、硬體與軟體資源，增加研究能量與服務範圍，強化區域產學鏈結，創建研發服務新平台，解決產業科技發展所需之關鍵技術，吸引產業共同投資與開發電漿技術，同時輔導國內各中小企業轉型，提供電漿科技人才進駐以提升產業之研發能力與競爭力。

(三) 遠程(成立六年後)

遠程發展策略則是建構完整價值鏈，透過新設計(Redesign)及新定義(Redefine)的方式，耕植電漿科技並結合多元資源及跨領域研發技術形成特色。打造健康生活、智慧製造以及工業4.0之基石。以成立研究服務公司(RSC)為目標，落實終極永續研發服務，以電漿科技基礎研究及應用帶領產業突破紅海競爭走出新興藍海市場。

 

電漿技術

電漿 (又稱為等離子體) 是固態、液態和氣態以外的第四態，氣體在高溫或強磁場作用下，因為電離作用而變為電漿。電漿為一種具有相同數量正電荷及負電荷的離化氣體，本身由離子、電子、中性原子及分子組成，但是整體為電中性。

• 隨著科技產業逐步發展，電漿也被廣泛的應用於各種製程，例如薄膜製程所使用的高功率脈衝磁控濺鍍 (High power impulse magnetron sputtering, HIPIMS) 、電弧離子鍍 (Arc ion plating, AIP) 及電漿輔助化學氣相沉積法 (Plasma enhanced chemical vapor deposition , PECVD) 等，都是利用電漿原理才得以實現的技術。
• 本中心使用的電漿技術種類眾多，包括高功率脈衝磁控濺鍍、直流磁控濺鍍、脈衝直流磁控濺鍍、電弧離子鍍及電漿輔助化學氣相沉積法。

電漿應用

本中心致力於開發薄膜製程的應用，依薄膜功能可分為裝飾性塗層、工具鍍硬塗層、光學性塗層、生物相容性塗層及透明導電塗層等，下圖是已開發及開發中的應用項目。

• 裝飾性塗層：在五金元件或塑膠件上鍍上不同的顏色，作為裝飾用途。例如：彩色鍊片
• 工具鍍硬塗層：應用於刀具及模具等，提高硬度、耐磨性及耐腐蝕性來延長使用壽命。例如：剪刀、衛浴五金。
• 生物相容性塗層：對高分子材料進行表面改質，改善其生物相容性，常見材料有鈦及鈦合金。例如：鍍鈦脊椎間支架。
• 光學性塗層：用來改變光波的穿透、反射、吸收及散射特性或以塗層的光學性質進行應用。例如：光觸媒風扇。
• 透明導電塗層：具備高穿透度、高導電度，依照種類可分為金屬薄膜及金屬氧化物薄膜，應用於液晶顯示器或太陽能電池等。
• 其他種類塗層：抗菌金屬塗層、疏水塗層、疏油塗層等。
• 本中心將裝飾性塗層應用於鍊片，並與廠商共同開發彩色鍊片，奪得 2018 紅點設計獎。
• 本中心將工具鍍硬塗層應用於剪切工具，提高鍊其耐磨性。
• 本中心以高功率脈衝磁控濺鍍技術開發石墨烯塗層。
• 本中心以捲對捲製程，進行織物及紗線之應用塗層開發，例如抗菌織物及導電紗線。
• 本中心將鈦金屬應用於脊椎支架，提高其生物相容性。
• 光學性塗層：用來改變光波的穿透、反射、吸收及散射特性，或以光學性質作為應用。例如：光觸媒風扇。
• 透明導電塗層：具備高穿透度、高導電度，依照種類可分為金屬薄膜及金屬氧化物薄膜，應用於液晶顯示器或太陽能電池等。例如： OMO 結構的多層膜及超薄碳膜。
• 其他塗層應用：銀抗菌織物、超疏水薄膜、超疏油薄膜等。